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關(guān) 于 漢 鐘
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產(chǎn) 品 資 訊
RT離心式冷媒壓縮機
RT離心式
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R 螺旋式冷媒壓縮機
RC2 半密閉螺旋式
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RE 高效型螺旋冷媒壓縮機
RG 開放螺旋式
LB 低溫專用螺旋式
LT 單機雙段螺旋式
P 干式真空泵浦
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PS 干式螺旋
PD 干式螺旋
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PMF 干式多級魯氏 – 超低功耗
PDM/PMH 干式螺旋/多級魯氏 – 高效低耗
iPH 干式螺旋 – 高需求制程專用
A 螺旋式空氣壓縮機
AA8 螺旋式
AM3 永磁變頻式
AY無油螺旋式
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政府能源效率補助專案機種
SAM無油渦卷式
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RT離心式冷媒壓縮機
離心機應(yīng)用
R 螺旋式冷媒壓縮機
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冷凍及冷藏系統(tǒng)
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PMF 干式多級魯氏
PDM/PMH 干式螺旋/多級魯氏
iPH 干式螺旋
A 螺旋式空氣壓縮機
AA8 螺旋式
AM3 永磁變頻式
AY無油螺旋式
SDS 日立無油式
政府能源效率補助專案機種
SAM無油渦卷式
iPH 系列干式螺旋真空泵浦
專為嚴苛制程環(huán)境設(shè)計
提供可靠且高效的運行表現(xiàn)。憑藉寬溫度適用范圍，泵浦可靈活調(diào)整運行條件，有效降低凝結(jié)與粉層累積。iPH 系列在嚴苛制程中展現(xiàn)長久壽命與顯著功率效率提升。此外，擁有鍍層技術(shù)，進一步增強抗腐蝕性能，保障泵浦在長期運行中的穩(wěn)定性與可靠性。
產(chǎn)品特點與優(yōu)勢
． 精簡轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)設(shè)計，延長平均無故障時間(MTBF)
． 抽速范圍 (100–1800 m3/hr)
． 真空度穩(wěn)定可靠性
． 適用多種制程應(yīng)用
． 模組化設(shè)計，便于維護
． 可靈活更換通訊模組，搭配不同設(shè)備
． 提供SEMI-S2 / SEMI-F47 / CE 認證
技術(shù)規(guī)格
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產(chǎn)品特點與優(yōu)勢
